SD 系列的特點(diǎn)
傳承過程容差，追求進(jìn)化
主要型號
| 型號*1 | SDX600 | SDT600 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000*5 | SDH6000*5 | |
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*大抽速 [升/分鐘]*2 |
10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |||
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極限壓力 [Pa] *2 |
0.5 | 0.3 | 0.5 | ||||||
| N2流量 [SLM] | 0~80 | 0~120 | |||||||
| 冷卻水流量 [升/分鐘] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 | |
| 功耗 [kW]*3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 | |
| 外形尺寸 [毫米]*4 | L | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | |||
| W | 285 | 285 | 380 | 420 | 515 | ||||
| H | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 | ||||
*1） SDX節(jié)能苛刻工藝兼容機(jī)，SDT/SDH工藝電阻/超苛刻兼容機(jī)器
*2） N2未使用**時的值。 *3） 達(dá)到操作時的近似功耗。 *4） 包裝尺寸。 詳細(xì)尺寸請索取外部圖紙。
*5） 我們擁有具有出色耐工藝性的產(chǎn)品陣容，因此請聯(lián)系我們的銷售人員。
規(guī)格和型號名稱如有更改，恕不另行通知。 * 請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。
排氣性能曲線
*排氣性能曲線可能會根據(jù)組合而變化
