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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
RSK系列，無塵室儲存箱，無塵室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
RSK系列，無塵室儲存箱，無塵室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
RSK系列，無塵室儲存箱，無塵室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
詳情介紹：
RSK系列，無塵室儲存箱，無塵室用，AIRTECH氣泰克DSLY0505
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レチクルやマスクを補(bǔ)完するシステムです。全自動型と手動型があります。設(shè)置場所や収納枚數(shù)などにより、設(shè)計(jì)できます。內(nèi)部は、専用クリーンユニットを配し、清浄度クラス１～100に維持されます。
製品のポイント
- 自動入手庫型と手動型があります。
- レチクルやマスクの収容枚數(shù)に合わせて設(shè)計(jì)されます。
- 內(nèi)部は、クリーンユニットで清浄化されます。
- 清浄度クラスは、ISOクラス３～５（クラス１～１００）に維持されます。
規(guī)格?仕様について
| 形式 |
RSK-□ □ □ □- □ □
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|---|---|
| 清浄度 |
レチクル保管部：ISO3(クラス1)
レチクル移動部：ISO4(クラス10) |
| 集塵効率 |
0.3μm粒子（大気塵）にて99.99％以上
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| 集塵要素 |
メインフィルター：ULPAフィルター
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| 処理風(fēng)量 |
160m3/min
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| 吹出風(fēng)速 |
約0.2m/sec ～0.4m/sec
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| 電源 |
AC200V 3φ 50/60Hz
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| 入出可能ワーク |
キヤノン、ニコン6inchレチクルケース兼用
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| *大保管數(shù) |
1036枚
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| 移動機(jī)構(gòu) |
スカラロボット型4j軸同時(shí)補(bǔ)間サーボシステム
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| 入出庫口 |
各5ヶ所(同時(shí)入出庫可能)
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| 構(gòu)造 |
本體：鋼板製焼付塗裝
保管棚板：アルミニウム(アルマイト仕上げ) 保管棚：デルリン樹脂成型品 |
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